▲適用于與Inconel® 或 Inconel/ 不銹鋼相容的氣體
▲絕對(duì)壓力范圍：0~10 Torr 至0~1000Torr，
                               0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa
                               0~2 psia 至0~20psia，0~2 kpa 至0~100kpa
 
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介紹
       Setra Model 760 電容壓力計(jì)是為精確的、可重復(fù)的真空測(cè)量而設(shè)計(jì)的壓力傳感器。滿量程范圍從10Torr 到1000Torr。測(cè)量單位可以是Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是15VDC，輸出0~10VDC 或0~5VDC，輸出與壓力成線性關(guān)系，而且與氣體成分無(wú)關(guān)。電氣連接件可以是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)15 針D 型插座或6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和ESD 抑制元件以及輸入輸出的RFI 過(guò)濾等技術(shù)，Model 760 具有卓越的EMI/RFI 性能。Model 760 有一個(gè)完整的滑面，很容易提供有精確的零點(diǎn)調(diào)節(jié)和量程調(diào)節(jié)的多匝電位計(jì)。Inconel® 材質(zhì)適用于全部濕原料所以可測(cè)量腐蝕性氣體，另外可提供不同類(lèi)型的壓力和真空接頭。Model 760 中高精度的壓力傳感元件Vactronsensor，是在Setra 專(zhuān)利技術(shù)可變電容傳感技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展來(lái)的。在敏感元件中央有一個(gè)饋入裝置組件支持一個(gè)鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個(gè)低壓接近真空的空間內(nèi)組成了一個(gè)可變電容。這一電容的變化被Setra 獨(dú)特的集成電路檢測(cè)并被轉(zhuǎn)換成高精度的線性直流信號(hào)，該集成電路是根據(jù)西特專(zhuān)利技術(shù)負(fù)荷平衡原理設(shè)計(jì)的。Model 760 采用革新的傳感設(shè)計(jì)獲得了卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結(jié)構(gòu)相似的電容式壓力計(jì)。

Model 760 性能規(guī)范
 
性能參數(shù)
 
精度A ±0.25% of Reading
精度B ±0.15% of Reading
溫度影響
補(bǔ)償范圍0~+50℃（+32~+122oF）
零點(diǎn)偏移±0.005%FS/℃
滿程偏移±0.02
分辨率無(wú)限的，僅受輸出噪聲的限制（0.01%FS）
耐壓45 psia
時(shí)間常數(shù)<20ms

環(huán)境參數(shù)
 
溫度
工作溫度* 0~+50℃
存儲(chǔ)溫度-50~+125℃

應(yīng)用
 
● 半導(dǎo)體過(guò)程工具和裝置
● 實(shí)驗(yàn)室和研究開(kāi)發(fā)
● 實(shí)驗(yàn)和測(cè)量
● 度量
● 分析化學(xué)系統(tǒng)
 
特點(diǎn)
 
■ 卓越的熱穩(wěn)定性
■ 出眾的EMI/RFI 性能
■ 低價(jià)位
■ 小巧緊湊的結(jié)構(gòu)
■ 耐腐蝕的Inconel® 濕部件
■ 多種壓力連接和電氣連接方式
■ 符合CE 標(biāo)準(zhǔn)